{"id":14,"date":"2024-09-15T18:25:01","date_gmt":"2024-09-15T10:25:01","guid":{"rendered":"https:\/\/aluminiumnitride.com\/?p=14"},"modified":"2024-12-21T20:17:57","modified_gmt":"2024-12-21T12:17:57","slug":"%d7%a0%d7%99%d7%98%d7%a8%d7%99%d7%93-%d7%90%d7%9c%d7%95%d7%9e%d7%99%d7%a0%d7%99%d7%95%d7%9d","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/aluminiumnitride.com\/he\/%d7%a0%d7%99%d7%98%d7%a8%d7%99%d7%93-%d7%90%d7%9c%d7%95%d7%9e%d7%99%d7%a0%d7%99%d7%95%d7%9d\/","title":{"rendered":"\u05e0\u05d9\u05d8\u05e8\u05d9\u05d3 \u05d0\u05dc\u05d5\u05de\u05d9\u05e0\u05d9\u05d5\u05dd"},"content":{"rendered":"

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AlN \u05e0\u05d9\u05ea\u05df \u05dc\u05e2\u05d9\u05d1\u05d5\u05d3 \u05d1\u05de\u05e6\u05d1 \u05d9\u05e8\u05d5\u05e7, \u05d1\u05d9\u05e1\u05e7\u05d5\u05d5\u05d9\u05d8 \u05d0\u05d5 \u05d1\u05de\u05e6\u05d1 \u05e9\u05dc \u05e1\u05d9\u05e0\u05d8\u05d5\u05e8 \u05de\u05dc\u05d0. \u05e2\u05dd \u05d6\u05d0\u05ea, \u05d7\u05d5\u05de\u05e8 \u05d1\u05e1\u05d9\u05e0\u05d8\u05d5\u05e8 \u05de\u05dc\u05d0 \u05d3\u05d5\u05e8\u05e9 \u05d6\u05de\u05df \u05d5\u05de\u05d9\u05d5\u05de\u05e0\u05d5\u05ea \u05e0\u05d5\u05e1\u05e4\u05d9\u05dd \u05e2\u05dc \u05de\u05e0\u05ea \u05dc\u05e2\u05de\u05d5\u05d3 \u05d1\u05e1\u05d1\u05d9\u05dc\u05d5\u05ea \u05de\u05d7\u05de\u05d9\u05e8\u05d5\u05ea.<\/p>\n

\u05de\u05d5\u05dc\u05d9\u05db\u05d5\u05ea \u05ea\u05e8\u05de\u05d9\u05ea \u05d2\u05d1\u05d5\u05d4\u05d4<\/h2>\n

\u05d4\u05de\u05d5\u05dc\u05d9\u05db\u05d5\u05ea \u05d4\u05ea\u05e8\u05de\u05d9\u05ea \u05d4\u05de\u05e2\u05d5\u05dc\u05d4 \u05e9\u05dc \u05e0\u05d9\u05d8\u05e8\u05d9\u05d3 \u05d0\u05dc\u05d5\u05de\u05d9\u05e0\u05d9\u05d5\u05dd \u05d4\u05d5\u05e4\u05db\u05ea \u05d0\u05d5\u05ea\u05d5 \u05dc\u05d7\u05d5\u05de\u05e8 \u05de\u05e6\u05d5\u05d9\u05df \u05dc\u05e4\u05d9\u05d6\u05d5\u05e8 \u05d7\u05d5\u05dd \u05d1\u05de\u05db\u05e9\u05d9\u05e8\u05d9\u05dd \u05d0\u05dc\u05e7\u05d8\u05e8\u05d5\u05e0\u05d9\u05d9\u05dd. \u05de\u05db\u05e9\u05d9\u05e8\u05d9\u05dd \u05d0\u05dc\u05e7\u05d8\u05e8\u05d5\u05e0\u05d9\u05d9\u05dd \u05de\u05d5\u05d3\u05e8\u05e0\u05d9\u05d9\u05dd \u05de\u05d9\u05d9\u05e6\u05e8\u05d9\u05dd \u05db\u05de\u05d5\u05d9\u05d5\u05ea \u05d2\u05d3\u05d5\u05dc\u05d5\u05ea \u05e9\u05dc \u05d7\u05d5\u05dd \u05e9\u05d7\u05d9\u05d9\u05d1\u05d5\u05ea \u05dc\u05d4\u05ea\u05e4\u05d6\u05e8 \u05d1\u05de\u05d4\u05d9\u05e8\u05d5\u05ea; \u05ea\u05db\u05d5\u05e0\u05d5\u05ea \u05d4\u05d1\u05d9\u05d3\u05d5\u05d3 \u05e9\u05dc \u05e0\u05d9\u05d8\u05e8\u05d9\u05d3 \u05d0\u05dc\u05d5\u05de\u05d9\u05e0\u05d9\u05d5\u05dd \u05de\u05e1\u05d9\u05d9\u05e2\u05d5\u05ea \u05dc\u05de\u05e0\u05d5\u05e2 \u05d4\u05ea\u05d7\u05de\u05de\u05d5\u05ea \u05d9\u05ea\u05e8, \u05de\u05d4 \u05e9\u05de\u05d2\u05d1\u05d9\u05e8 \u05d0\u05ea \u05d4\u05d0\u05de\u05d9\u05e0\u05d5\u05ea \u05dc\u05d0\u05d5\u05e8\u05da \u05d6\u05de\u05df \u05d5\u05de\u05d0\u05e8\u05d9\u05da \u05d0\u05ea \u05d7\u05d9\u05d9 \u05d4\u05e8\u05db\u05d9\u05d1\u05d9\u05dd.<\/p>\n

\u05dc-AlN \u05e6\u05e4\u05d9\u05e4\u05d5\u05ea \u05e9\u05dc 3.26 g\/cm3, \u05d5\u05db\u05df \u05de\u05d5\u05dc\u05d9\u05db\u05d5\u05ea \u05ea\u05e8\u05de\u05d9\u05ea \u05d2\u05d1\u05d5\u05d4\u05d4 \u05d1\u05de\u05d9\u05d5\u05d7\u05d3 \u05e9\u05dc 170 W\/(m-K), \u05d9\u05d5\u05ea\u05e8 \u05de\u05d7\u05de\u05e9 \u05e4\u05e2\u05de\u05d9\u05dd \u05d2\u05d1\u05d5\u05d4\u05d4 \u05de\u05d6\u05d5 \u05e9\u05dc \u05d0\u05dc\u05d5\u05de\u05d9\u05e0\u05d4, \u05d5\u05e7\u05e8\u05d5\u05d1\u05d4 \u05dc\u05d6\u05d5 \u05e9\u05dc \u05d1\u05e8\u05d9\u05dc\u05d9\u05d4 \u05de\u05d1\u05d7\u05d9\u05e0\u05ea \u05de\u05d5\u05dc\u05d9\u05db\u05d5\u05ea \u05ea\u05e8\u05de\u05d9\u05ea. \u05dc\u05de\u05e8\u05d1\u05d4 \u05d4\u05e6\u05e2\u05e8, \u05de\u05d5\u05dc\u05d9\u05db\u05d5\u05ea \u05ea\u05e8\u05de\u05d9\u05ea \u05e9\u05dc AlN \u05e2\u05dc\u05d5\u05dc\u05d4 \u05dc\u05e8\u05d3\u05ea \u05e2\u05e7\u05d1 \u05d6\u05d9\u05d4\u05d5\u05de\u05d9\u05dd \u05e9\u05dc \u05d7\u05de\u05e6\u05df \u05d4\u05e7\u05d9\u05d9\u05de\u05d9\u05dd \u05d1\u05d0\u05d1\u05e7\u05d5\u05ea \u05d4\u05d4\u05ea\u05d7\u05dc\u05d4 \u05d1\u05de\u05d4\u05dc\u05da \u05ea\u05d4\u05dc\u05d9\u05db\u05d9 sintering.<\/p>\n

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\u05d1\u05d9\u05d3\u05d5\u05d3 \u05d7\u05e9\u05de\u05dc\u05d9 \u05d2\u05d1\u05d5\u05d4<\/h2>\n

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\u05e0\u05d9\u05d8\u05e8\u05d9\u05d3 \u05d0\u05dc\u05d5\u05de\u05d9\u05e0\u05d9\u05d5\u05dd (AlN) \u05d4\u05d5\u05d0 \u05d7\u05d5\u05de\u05e8 \u05d0\u05d8\u05e8\u05e7\u05d8\u05d9\u05d1\u05d9 \u05dc\u05d9\u05d9\u05e9\u05d5\u05de\u05d9\u05dd \u05e9\u05dc \u05de\u05e2\u05e8\u05db\u05d5\u05ea \u05de\u05d9\u05e7\u05e8\u05d5-\u05d0\u05dc\u05e7\u05d8\u05e8\u05d5-\u05de\u05db\u05e0\u05d9\u05d5\u05ea (MEMS), \u05db\u05d2\u05d5\u05df \u05de\u05e1\u05e0\u05e0\u05d9\u05dd \u05d1\u05ea\u05d3\u05e8 \u05d2\u05d1\u05d5\u05d4 \u05d5\u05de\u05e7\u05d5\u05e8\u05d5\u05ea \u05d0\u05e0\u05e8\u05d2\u05d9\u05d4, \u05d4\u05d5\u05d3\u05d5\u05ea \u05dc\u05e4\u05e2\u05e8 \u05d0\u05e0\u05e8\u05d2\u05d9\u05d4 \u05e8\u05d7\u05d1 \u05d5\u05ea\u05db\u05d5\u05e0\u05d5\u05ea \u05e4\u05d9\u05d6\u05d5\u05d0\u05dc\u05e7\u05d8\u05e8\u05d9\u05d5\u05ea \u05d4\u05ea\u05d5\u05d0\u05de\u05d5\u05ea \u05dc\u05d8\u05db\u05e0\u05d5\u05dc\u05d5\u05d2\u05d9\u05d9\u05ea CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor). \u05d1\u05e0\u05d5\u05e1\u05e3, AlN \u05e0\u05d9\u05ea\u05df \u05dc\u05e2\u05d9\u05d1\u05d5\u05d3 \u05d1\u05e7\u05dc\u05d5\u05ea \u05d4\u05d5\u05d3\u05d5\u05ea \u05dc\u05e0\u05e7\u05d5\u05d3\u05ea \u05d4\u05d4\u05ea\u05db\u05d4 \u05d4\u05e0\u05de\u05d5\u05db\u05d4 \u05e9\u05dc\u05d5. \u05e2\u05dd \u05d6\u05d0\u05ea, \u05e9\u05d9\u05e2\u05d5\u05e8\u05d9 \u05d4\u05d4\u05ea\u05db\u05d5\u05d5\u05e6\u05d5\u05ea \u05e9\u05dc\u05d5 \u05dc\u05d0\u05d7\u05e8 sintering \u05e2\u05dc\u05d5\u05dc\u05d9\u05dd \u05dc\u05d4\u05e7\u05e9\u05d5\u05ea \u05e2\u05dc \u05e9\u05de\u05d9\u05e8\u05ea \u05e1\u05d1\u05d9\u05dc\u05d5\u05ea \u05e0\u05de\u05d5\u05db\u05d5\u05ea \u05e2\u05dd \u05d7\u05d5\u05de\u05e8 \u05d6\u05d4.<\/p>\n

\u05d7\u05d5\u05d6\u05e7 \u05de\u05db\u05e0\u05d9 \u05d2\u05d1\u05d5\u05d4<\/h2>\n

\u05e0\u05d9\u05d8\u05e8\u05d9\u05d3 \u05d0\u05dc\u05d5\u05de\u05d9\u05e0\u05d9\u05d5\u05dd \u05de\u05ea\u05d0\u05e4\u05d9\u05d9\u05df \u05d1\u05d7\u05d5\u05d6\u05e7 \u05de\u05db\u05e0\u05d9 \u05d9\u05d5\u05e6\u05d0 \u05d3\u05d5\u05e4\u05df, \u05de\u05d4 \u05e9\u05d4\u05d5\u05e4\u05da \u05d0\u05d5\u05ea\u05d5 \u05dc\u05d7\u05d5\u05de\u05e8 \u05de\u05e6\u05d5\u05d9\u05df \u05dc\u05d9\u05d9\u05e6\u05d5\u05e8 \u05de\u05e6\u05e2\u05d9\u05dd \u05e7\u05e8\u05de\u05d9\u05d9\u05dd \u05dc\u05de\u05d5\u05dc\u05d9\u05db\u05d9\u05dd \u05dc\u05de\u05d7\u05e6\u05d4. \u05db\u05d7\u05d5\u05de\u05e8 \u05e7\u05e8\u05de\u05d9 \u05de\u05d4\u05d7\u05d6\u05e7\u05d9\u05dd \u05d1\u05d9\u05d5\u05ea\u05e8 \u05d4\u05e0\u05de\u05e6\u05d0\u05d9\u05dd \u05db\u05d9\u05d5\u05dd \u05d1\u05e9\u05d9\u05de\u05d5\u05e9 \u2013 \u05e2\u05dd \u05d7\u05d5\u05d6\u05e7 \u05db\u05d9\u05e4\u05d5\u05e3 \u05d2\u05d1\u05d5\u05d4 \u05d9\u05d5\u05ea\u05e8 \u05de\u05d6\u05d4 \u05e9\u05dc \u05e7\u05e8\u05d1\u05d9\u05d3 \u05e1\u05d9\u05dc\u05d9\u05e7\u05d5\u05df \u05d5\u05e9\u05dc \u05ea\u05d7\u05de\u05d5\u05e6\u05ea \u05d0\u05dc\u05d5\u05de\u05d9\u05e0\u05d9\u05d5\u05dd \u2013 \u05d5\u05d1\u05d6\u05db\u05d5\u05ea \u05ea\u05db\u05d5\u05e0\u05d5\u05ea \u05d4\u05de\u05d5\u05dc\u05d9\u05db\u05d5\u05ea \u05d4\u05ea\u05e8\u05de\u05d9\u05ea \u05d4\u05de\u05e2\u05d5\u05dc\u05d5\u05ea \u05e9\u05dc\u05d5, \u05d4\u05d5\u05d0 \u05de\u05e6\u05d9\u05e2 \u05d2\u05dd \u05ea\u05db\u05d5\u05e0\u05d5\u05ea \u05d1\u05d9\u05d3\u05d5\u05d3 \u05d7\u05e9\u05de\u05dc\u05d9 \u05de\u05e6\u05d5\u05d9\u05e0\u05d5\u05ea.<\/p>\n

\u05d4\u05e9\u05d9\u05dc\u05d5\u05d1 \u05d4\u05d9\u05d9\u05d7\u05d5\u05d3\u05d9 \u05e9\u05dc \u05ea\u05db\u05d5\u05e0\u05d5\u05ea \u05e0\u05d9\u05d8\u05e8\u05d9\u05d3 \u05d4\u05d0\u05dc\u05d5\u05de\u05d9\u05e0\u05d9\u05d5\u05dd \u05d4\u05d5\u05e4\u05da \u05d0\u05d5\u05ea\u05d5 \u05dc\u05d0\u05d9\u05d3\u05d9\u05d0\u05dc\u05d9 \u05dc\u05d9\u05d9\u05e9\u05d5\u05de\u05d9\u05dd \u05d1\u05ea\u05d7\u05d5\u05dd \u05d4\u05d0\u05e0\u05e8\u05d2\u05d9\u05d4 \u05d5\u05d4\u05de\u05d9\u05e7\u05e8\u05d5\u05d0\u05dc\u05e7\u05d8\u05e8\u05d5\u05e0\u05d9\u05e7\u05d4, \u05d5\u05dc\u05e2\u05ea\u05d9\u05dd \u05e7\u05e8\u05d5\u05d1\u05d5\u05ea \u05d4\u05d5\u05d0 \u05de\u05e9\u05de\u05e9 \u05db\u05d7\u05dc\u05d5\u05e4\u05d4 \u05dc\u05ea\u05d7\u05de\u05d5\u05e6\u05ea \u05d1\u05e8\u05d9\u05dc\u05d9\u05d5\u05dd \u05d1\u05d0\u05dc\u05e7\u05d8\u05e8\u05d5\u05e0\u05d9\u05e7\u05d4 \u05d1\u05e9\u05dc \u05d4\u05e1\u05d9\u05db\u05d5\u05e0\u05d9\u05dd \u05d4\u05d1\u05e8\u05d9\u05d0\u05d5\u05ea\u05d9\u05d9\u05dd \u05d4\u05db\u05e8\u05d5\u05db\u05d9\u05dd \u05d1\u05d8\u05d9\u05e4\u05d5\u05dc \u05d1-BeO. \u05d1\u05e0\u05d5\u05e1\u05e3, \u05dc\u05e0\u05d9\u05d8\u05e8\u05d9\u05d3 \u05d4\u05d0\u05dc\u05d5\u05de\u05d9\u05e0\u05d9\u05d5\u05dd \u05de\u05e7\u05d3\u05dd \u05d4\u05ea\u05e4\u05e9\u05d8\u05d5\u05ea \u05ea\u05e8\u05de\u05d9\u05ea \u05e0\u05de\u05d5\u05da \u05d1\u05d4\u05e8\u05d1\u05d4 \u05d1\u05d4\u05e9\u05d5\u05d5\u05d0\u05d4 \u05dc\u05d0\u05dc\u05d5\u05de\u05d9\u05e0\u05d4 \u05d5\u05dc\u05ea\u05d7\u05de\u05d5\u05e6\u05ea \u05d1\u05e8\u05d9\u05dc\u05d9\u05d5\u05dd, \u05de\u05d4 \u05e9\u05d4\u05d5\u05e4\u05da \u05d0\u05d5\u05ea\u05d5 \u05dc\u05de\u05ea\u05d0\u05d9\u05dd \u05dc\u05d9\u05d9\u05e9\u05d5\u05de\u05d9\u05dd \u05d4\u05d3\u05d5\u05e8\u05e9\u05d9\u05dd \u05e4\u05e2\u05d5\u05dc\u05d4 \u05d1\u05d8\u05de\u05e4\u05e8\u05d8\u05d5\u05e8\u05d4 \u05e0\u05de\u05d5\u05db\u05d4.<\/p>\n

\u05d4\u05ea\u05e7\u05d3\u05de\u05d5\u05ea \u05d0\u05d7\u05e8\u05d5\u05e0\u05d4 \u05d1\u05d8\u05db\u05e0\u05d5\u05dc\u05d5\u05d2\u05d9\u05d9\u05ea \u05de\u05d5\u05dc\u05d9\u05db\u05d9\u05dd \u05dc\u05de\u05d7\u05e6\u05d4 \u05d4\u05e1\u05e4\u05e7 \u05d9\u05e6\u05e8\u05d4 \u05e6\u05d5\u05e8\u05da \u05d2\u05d5\u05d1\u05e8 \u05d1\u05d7\u05d5\u05de\u05e8\u05d9\u05dd \u05d7\u05dc\u05d5\u05e4\u05d9\u05d9\u05dd \u05d4\u05de\u05e1\u05d5\u05d2\u05dc\u05d9\u05dd \u05dc\u05e4\u05d6\u05e8 \u05d7\u05d5\u05dd \u05d1\u05d9\u05e2\u05d9\u05dc\u05d5\u05ea. \u05d7\u05d5\u05de\u05e8\u05d9\u05dd \u05de\u05e1\u05d5\u05e8\u05ea\u05d9\u05d9\u05dd \u05dc\u05de\u05e6\u05e2 \u05e7\u05e8\u05de\u05d9, \u05db\u05d5\u05dc\u05dc \u05ea\u05d7\u05de\u05d5\u05e6\u05ea \u05d0\u05dc\u05d5\u05de\u05d9\u05e0\u05d9\u05d5\u05dd (Al2O3) \u05d5\u05e0\u05d9\u05d8\u05e8\u05d9\u05d3 \u05e1\u05d9\u05dc\u05d9\u05e7\u05d5\u05df (Si3N4), \u05d4\u05d5\u05db\u05d7\u05d5 \u05db\u05dc\u05d0 \u05de\u05e1\u05e4\u05d9\u05e7\u05d9\u05dd \u05d1\u05d4\u05e7\u05e9\u05e8 \u05d6\u05d4, \u05d5\u05dc\u05db\u05df AlGalN \u05d4\u05ea\u05d2\u05dc\u05d4 \u05db\u05de\u05d5\u05e2\u05de\u05d3 \u05e4\u05d5\u05d8\u05e0\u05e6\u05d9\u05d0\u05dc\u05d9 \u05d1\u05e9\u05dc \u05de\u05d5\u05dc\u05d9\u05db\u05d5\u05ea\u05d5 \u05d4\u05ea\u05e8\u05de\u05d9\u05ea \u05d4\u05de\u05e2\u05d5\u05dc\u05d4.<\/p>\n

\u05dc\u05de\u05e8\u05d1\u05d4 \u05d4\u05e6\u05e2\u05e8, \u05d4\u05de\u05e2\u05d1\u05e8 \u05de\u05d0\u05dc\u05d5\u05de\u05d9\u05e0\u05d4 \u05dc-AlGalN \u05d3\u05d5\u05e8\u05e9 \u05e2\u05d9\u05d1\u05d5\u05d3 \u05e0\u05e8\u05d7\u05d1 \u05d1\u05d0\u05d8\u05de\u05d5\u05e1\u05e4\u05d9\u05e8\u05ea \u05d7\u05e0\u05e7\u05df \u05e2\u05dd \u05d6\u05de\u05e0\u05d9 \u05d0\u05e1\u05e4\u05e7\u05d4 \u05d0\u05e8\u05d5\u05db\u05d9\u05dd \u05e2\u05d1\u05d5\u05e8 \u05d7\u05dc\u05e7 \u05de\u05d4\u05d9\u05e6\u05e8\u05e0\u05d9\u05dd. \u05db\u05d3\u05d9 \u05dc\u05d4\u05ea\u05d2\u05d1\u05e8 \u05e2\u05dc \u05de\u05db\u05e9\u05d5\u05dc \u05d6\u05d4, \u05d7\u05d1\u05e8\u05d5\u05ea \u05de\u05e1\u05d5\u05d9\u05de\u05d5\u05ea \u05e4\u05d9\u05ea\u05d7\u05d5 \u05de\u05d5\u05e6\u05e8\u05d9 AlN \u05d4\u05e0\u05d9\u05ea\u05e0\u05d9\u05dd \u05dc\u05e2\u05d9\u05d1\u05d5\u05d3, \u05d4\u05de\u05d9\u05d5\u05e6\u05e8\u05d9\u05dd \u05db\u05d1\u05dc\u05d9\u05d8\u05d5\u05ea \u05e9\u05e0\u05d9\u05ea\u05df \u05dc\u05e2\u05d1\u05d3 \u05dc\u05dc\u05d0 \u05e9\u05d9\u05de\u05d5\u05e9 \u05d1\u05db\u05dc\u05d9 \u05d9\u05d4\u05dc\u05d5\u05dd, \u05d5\u05d4\u05dd \u05d7\u05e1\u05db\u05d5\u05e0\u05d9\u05d9\u05dd \u05d9\u05d5\u05ea\u05e8 \u05de-AlN \u05d8\u05d4\u05d5\u05e8. \u05de\u05d5\u05e6\u05e8\u05d9\u05dd \u05d0\u05dc\u05d4 \u05d4\u05e0\u05d9\u05ea\u05e0\u05d9\u05dd \u05dc\u05e2\u05d9\u05d1\u05d5\u05d3 \u05e0\u05d9\u05ea\u05df \u05dc\u05d4\u05e9\u05d9\u05d2 \u05d2\u05dd \u05de\u05de\u05e1\u05e4\u05e8 \u05e1\u05e4\u05e7\u05d9\u05dd, \u05de\u05d4 \u05e9\u05de\u05e7\u05e6\u05e8 \u05e2\u05d5\u05d3 \u05d9\u05d5\u05ea\u05e8 \u05d0\u05ea \u05d6\u05de\u05e0\u05d9 \u05d4\u05d0\u05e1\u05e4\u05e7\u05d4.<\/p>\n

\u05e2\u05de\u05d9\u05d3\u05d5\u05ea \u05d2\u05d1\u05d5\u05d4\u05d4 \u05d1\u05e4\u05e0\u05d9 \u05d7\u05de\u05e6\u05d5\u05df<\/h2>\n

\u05e0\u05d9\u05d8\u05e8\u05d9\u05d3 \u05d0\u05dc\u05d5\u05de\u05d9\u05e0\u05d9\u05d5\u05dd (AlN) \u05d4\u05d5\u05d0 \u05e0\u05d9\u05d8\u05e8\u05d9\u05d3 \u05d0\u05dc\u05d5\u05de\u05d9\u05e0\u05d9\u05d5\u05dd \u05de\u05d5\u05e6\u05e7 \u05d1\u05e2\u05dc \u05de\u05d5\u05dc\u05d9\u05db\u05d5\u05ea \u05ea\u05e8\u05de\u05d9\u05ea \u05d2\u05d1\u05d5\u05d4\u05d4 \u05d5\u05ea\u05db\u05d5\u05e0\u05d5\u05ea \u05d1\u05d9\u05d3\u05d5\u05d3 \u05d7\u05e9\u05de\u05dc\u05d9 \u05de\u05e6\u05d5\u05d9\u05e0\u05d5\u05ea. \u05d1\u05e0\u05d5\u05e1\u05e3, \u05e2\u05de\u05d9\u05d3\u05d5\u05ea\u05d5 \u05e9\u05dc AlN \u05d1\u05e4\u05e0\u05d9 \u05d7\u05de\u05e6\u05d5\u05df, \u05e9\u05d7\u05d9\u05e7\u05d4 \u05d5\u05e7\u05d5\u05e8\u05d5\u05d6\u05d9\u05d4 \u05de\u05d2\u05e0\u05d4 \u05e2\u05dc\u05d9\u05d5 \u05de\u05e4\u05e0\u05d9 \u05e0\u05d6\u05e7\u05d9\u05dd \u05d4\u05e0\u05d2\u05e8\u05de\u05d9\u05dd \u05de\u05d4\u05ea\u05db\u05ea \u05d0\u05dc\u05d5\u05de\u05d9\u05e0\u05d9\u05d5\u05dd \u05d5\u05de\u05e7\u05d5\u05e8\u05d5\u05d6\u05d9\u05d4 \u05e9\u05dc \u05d0\u05e8\u05e1\u05e0\u05d9\u05d3 \u05d2\u05dc\u05d9\u05d5\u05dd; \u05d9\u05ea\u05e8 \u05e2\u05dc \u05db\u05df, \u05d4\u05d5\u05d0 \u05d0\u05d9\u05e0\u05d5 \u05e8\u05e2\u05d9\u05dc.<\/p>\n

\u05e4\u05dc\u05e1\u05d8\u05d9\u05e7 \u05d0\u05d8\u05de\u05d5\u05e1\u05e4\u05e8\u05d9 \u05d4\u05d5\u05d0 \u05d7\u05d5\u05de\u05e8 \u05d0\u05d9\u05d3\u05d9\u05d0\u05dc\u05d9 \u05dc\u05d9\u05d9\u05e9\u05d5\u05de\u05d9\u05dd \u05d1\u05e1\u05d1\u05d9\u05d1\u05d5\u05ea \u05e7\u05e9\u05d5\u05ea, \u05e9\u05db\u05df \u05d4\u05d5\u05d0 \u05e2\u05de\u05d9\u05d3 \u05d1\u05d8\u05de\u05e4\u05e8\u05d8\u05d5\u05e8\u05d5\u05ea \u05d2\u05d1\u05d5\u05d4\u05d5\u05ea \u05d5\u05d1\u05e9\u05d7\u05d9\u05e7\u05d4 \u05db\u05d9\u05de\u05d9\u05ea, \u05de\u05d4 \u05e9\u05d4\u05d5\u05e4\u05da \u05d0\u05d5\u05ea\u05d5 \u05dc\u05d7\u05d5\u05de\u05e8 \u05d4\u05de\u05d5\u05e9\u05dc\u05dd \u05dc\u05e2\u05de\u05d9\u05d3\u05d4 \u05d1\u05e8\u05e2\u05d9\u05d3\u05d5\u05ea \u05d5\u05dc\u05d7\u05e5, \u05ea\u05d5\u05da \u05e9\u05de\u05d9\u05e8\u05d4 \u05e2\u05dc \u05de\u05d5\u05dc\u05d9\u05db\u05d5\u05ea \u05d7\u05e9\u05de\u05dc\u05d9\u05ea \u05d5\u05e2\u05de\u05d9\u05d3\u05d5\u05ea \u05d1\u05e4\u05e0\u05d9 \u05e7\u05e8\u05d9\u05e0\u05ea UV. \u05d1\u05e0\u05d5\u05e1\u05e3, \u05d4\u05d5\u05d0 \u05e2\u05de\u05d9\u05d3 \u05d2\u05dd \u05d1\u05de\u05ea\u05d7 \u05d2\u05d1\u05d5\u05d4, \u05d5\u05d7\u05d5\u05d6\u05e7\u05d5 \u05d4\u05de\u05db\u05e0\u05d9 \u05d4\u05d5\u05e4\u05da \u05d0\u05d5\u05ea\u05d5 \u05dc\u05de\u05ea\u05d0\u05d9\u05dd \u05dc\u05e2\u05de\u05d9\u05d3\u05d4 \u05d1\u05e8\u05e2\u05d9\u05d3\u05d5\u05ea \u05d5\u05dc\u05d7\u05e5. \u05dc\u05d1\u05e1\u05d5\u05e3, \u05d4\u05de\u05d5\u05dc\u05d9\u05db\u05d5\u05ea \u05d4\u05d7\u05e9\u05de\u05dc\u05d9\u05ea \u05d5\u05e2\u05de\u05d9\u05d3\u05d5\u05ea\u05d5 \u05d1\u05e4\u05e0\u05d9 \u05e7\u05e8\u05d9\u05e0\u05ea UV \u05d4\u05d5\u05e4\u05db\u05d5\u05ea \u05e4\u05dc\u05e1\u05d8\u05d9\u05e7 \u05d6\u05d4 \u05dc\u05d7\u05d5\u05de\u05e8 \u05de\u05e6\u05d5\u05d9\u05df.<\/p>\n

\u05d7\u05d5\u05de\u05e8 \u05d6\u05d4 \u05e0\u05d9\u05ea\u05df \u05dc\u05e2\u05d9\u05d1\u05d5\u05d3 \u05d1\u05d0\u05de\u05e6\u05e2\u05d5\u05ea \u05db\u05dc\u05d9 \u05e2\u05d9\u05d1\u05d5\u05d3 \u05e1\u05d8\u05e0\u05d3\u05e8\u05d8\u05d9\u05d9\u05dd, \u05d5\u05de\u05e6\u05d9\u05e2 \u05d7\u05d5\u05d6\u05e7 \u05de\u05db\u05e0\u05d9 \u05d5\u05e2\u05d9\u05d1\u05d5\u05d3\u05d9\u05d5\u05ea \u05de\u05e6\u05d5\u05d9\u05e0\u05d9\u05dd. \u05d1\u05e0\u05d5\u05e1\u05e3, \u05e6\u05e4\u05d9\u05e4\u05d5\u05ea\u05d5 \u05d4\u05e0\u05de\u05d5\u05db\u05d4 \u05d4\u05d5\u05e4\u05db\u05ea \u05d0\u05d5\u05ea\u05d5 \u05dc\u05de\u05ea\u05d0\u05d9\u05dd \u05dc\u05e8\u05db\u05d9\u05d1\u05d9\u05dd \u05e7\u05dc\u05d9\u05dd \u05d5\u05dc\u05ea\u05ea\u05d9-\u05de\u05e2\u05e8\u05db\u05d5\u05ea \u05d1\u05ea\u05d7\u05d5\u05dd \u05d4\u05ea\u05e2\u05d5\u05e4\u05d4 \u05d5\u05d4\u05d7\u05dc\u05dc, \u05ea\u05d5\u05da \u05e9\u05d4\u05d5\u05d0 \u05e2\u05de\u05d9\u05d3 \u05d9\u05d5\u05ea\u05e8 \u05de-FR-4 \u05d0\u05dc\u05d5\u05de\u05d9\u05e0\u05d9\u05d5\u05dd \u05db\u05dc\u05dc\u05d9 \u05d0\u05d5 \u05de\u05e2\u05d2\u05dc\u05d9\u05dd \u05de\u05d5\u05d3\u05e4\u05e1\u05d9\u05dd \u05d9\u05e6\u05d5\u05e7\u05d9\u05dd \u05de\u05e0\u05d7\u05d5\u05e9\u05ea.<\/p>\n

\u05d0\u05dc\u05d9\u05e4\u05e1\u05d5\u05de\u05d8\u05e8 \u05e1\u05e4\u05e7\u05d8\u05e8\u05d5\u05e1\u05e7\u05d5\u05e4\u05d9 \u05d1\u05d6\u05d5\u05d5\u05d9\u05ea \u05de\u05e9\u05ea\u05e0\u05d4 \u05e9\u05dc Woollam (\u05dc\u05d9\u05e0\u05e7\u05d5\u05dc\u05df, \u05e0\u05d1\u05e8\u05e1\u05e7\u05d4, \u05d0\u05e8\u05d4\"\u05d1) \u05e9\u05d9\u05de\u05e9 \u05dc\u05d0\u05e4\u05d9\u05d5\u05df \u05d3\u05d2\u05d9\u05de\u05d5\u05ea S1 \u05d5-S4 AlN\/Si \u05d1\u05e2\u05d5\u05d1\u05d9\u05d9\u05dd \u05e9\u05d5\u05e0\u05d9\u05dd \u05e9\u05dc \u05e1\u05e8\u05d8 \u05d1\u05d0\u05de\u05e6\u05e2\u05d5\u05ea \u05d1\u05d3\u05d9\u05e7\u05ea XPS, \u05db\u05d0\u05e9\u05e8 \u05d0\u05e0\u05e8\u05d2\u05d9\u05d9\u05ea \u05d4\u05e7\u05e9\u05e8 \u05e9\u05dc \u05e9\u05d9\u05d0 \u05d4\u05e4\u05d5\u05d8\u05d5\u05d0\u05dc\u05e7\u05d8\u05e8\u05d5\u05df N 1s \u05e0\u05de\u05d3\u05d3\u05d4 \u05db-396 2eV, \u05d4\u05ea\u05d5\u05d0\u05de\u05ea \u05d4\u05d9\u05d8\u05d1 \u05d0\u05ea \u05e0\u05ea\u05d5\u05e0\u05d9 \u05d4\u05e0\u05d9\u05e1\u05d5\u05d9.<\/p>\n

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